微机电系统（MEMS,Micro-Electro-Mechanical System），也叫做微电子机械系统、微系统、微机械等，是在微电子技术（半导体制造技术）基础上发展起来的，融合了光刻、腐蚀、薄膜、LIGA、硅微加工、非硅微加工和精密机械加工等技术制作的高科技电子机械器件。常见的产品包括MEMS加速度计、MEMS麦克风、微马达、微泵、微振子、MEMS压力传感器、MEMS陀螺仪、MEMS湿度传感器等以及它们的集成产品。

    根据2012版《协调制度》的描述，采用微电子或机械结构封装工艺的传感器由于不符合品目85.42项下关于“单芯片集成电路”“混合集成电路”的定义，根据归类总规则一及六，将其归入品目90.31项下。

       但根据即将于2017年1月1日开始实行的新版《协调制度》，已将其列入品目85.42项下的集成电路，而不是品目90.31项下的传感器了。要知道，这两个品目间的税率差最多可达到5%。

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